关于导电滑环在单晶炉构成方面的应用,今天深圳市九江英智电子有限公司小编跟大家分享一下:
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉的构成主要包括:
1,提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管、导电滑环等其他部件组成
2,副室:主要是副室筒以及上下法兰组成
3,炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成
4,炉筒:包括取光孔
5,下炉筒:包括抽真空管道
6,底座机架:全铸铁机架和底座
7,坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成
8,分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等
9,氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件
10,真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等
11,电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。
导电滑环作为单晶炉上一个重要的零配件,也起着非常重要的作用。导电滑环是用于提拉头信号传输及电源供给的,通过360°的旋转来传递电流及信号。所以一旦导电滑环出现故障,提拉头信号就无法正常传输,就会导致单晶炉无法正常运作。更多精彩内容请您持续关注:http://www.ingiant.com/news